近期，韩国研究人员在室温下利用反应式卷对卷（R2R）溅射系统，在CPI薄膜（由韩国Kolon提供，厚度50µm）上制备了柔性透明的硅氧碳（SiOC）硬化涂层，开发出一种新的应用于可折叠显示器的柔性透明盖板材料。

测试结果表明，利用室温R2R溅射方法成功实现了CPI透明薄膜的表面硬化层制备，SiOC/CPI薄膜具有出色的透明性、柔韧性、耐刮擦性和抗冲击性等，有望作为透明盖板材料应用于下一代柔性或可折叠显示器中。

来源：MDPI

SiOC/CPI薄膜在400~800nm的波长范围内均显示出高于87%的高透光率，当涂层厚度为100nm时，薄膜的透光率仍有87.43%的透光率。

当SiOC硬化涂层厚度为100和300nm时，透明CPI薄膜在经历静态弯折、动态弯折、扭曲、滚动测试之后，均没有出现裂纹或表面缺陷。然而，经10万次外部折叠测试后，高应变导致300nm厚的SiOC/CPI薄膜出现了表面裂纹。

另外，研究人员对透明薄膜的耐刮擦刮性能进行了测试，在标准铅笔硬度试验（550g）和钢丝绒刮擦试验（250g载荷）中，SiOC/CPI透明薄膜展现出良好的耐刮擦特性。且表面有SiOC硬化涂层后的CPI薄膜对TFH、TFT器件均有很好的冲击保护。